Översikt

Här är något som vänder på en långvarig antagande inom kisel-PV. Forskare fann att avsiktligt lämna vissa "hål" i SiOx-skiktet i en TOPCon-cell kan öka verkningsgraden till 26,55%, istället för att dra ner den.

Nyckelfyndet: hål i tunneloxiden delas in i två familjer. Den ena är rekombinationstypen (syrefattig, där poly-Si kontaktar c-Si direkt, dålig), den andra är passiveringstypen (kvarvarande syre stannar kvar, passiverar lösa bindningar medan det fortfarande tillåter tunnling, bra). Passiveringstypen mäter cirka 1,6 ± 0,2 nm × 1,4 ± 0,3 nm i tvärsnitt, med en arealdensitet på 2 × 10¹² cm⁻². En Fischer-modell visade att det som avgör enhetens prestanda inte är hålgeometrin, utan om hålet är passiverat.

Referens: Passivering av hål för stora och högeffektiva kisel-solceller med tunneloxidpassiverad kontakt, Nat Commun 17, 2490 (2026). https://doi.org/10.1038/s41467-026-70511-2

Forskningsbakgrund och problemet som fastnat

TOPCon är nu mainstream för n-typ kisel. Runergy nådde 26,55% på 335 cm², Jinko staplade TOPCon plus perovskit till 33,24%, och ensidig n-TOPCon har ett teoretiskt tak på 27,79%. Men ingen hade fastställt vilken roll hålen i det gränssnitts-SiOx-skiktet faktiskt spelar.

Den traditionella synen: hål innebär att poly-Si sticker rakt in i c-Si, syrepassivering misslyckas, dåliga nyheter.

Verkligheten är rörigare. Oxid för tjock (>1,7 nm) passiverar bra men tunnlar dåligt, så FF kollapsar. Oxid för tunn (<1,3 nm) innebär fler pinholes, och nu oroar du dig för att Voc kollapsar.

Författarna delade upp oxidtjocklek plus syrefördelning i tre fall (Introduktionsavsnittet):

• Fall 1: tjock oxid, passivering OK, tunnelering inte optimal

• Fall 2: tunn oxid plus syrebrist, vilket ger rekombinationstyp pinholes (den klassiska "dåliga pinhole")

• Fall 3: tunn oxid men syre sipprar fortfarande in i pinhole, vilket ger passiveringstyp pinholes (den nya upptäckten här)

Innan detta var HR-TEM-upplösningen inte tillräckligt bra för att se detaljer under 2 nm. Litteraturen rapporterade pinhole-diametrar på 5 nm till 200 nm och densiteter på 10⁶ till 10⁸ cm⁻², vilket alla bara var "stora hål". Selektiv etsning och c-AFM förlitar sig på etshastighetsskillnaden mellan Si och SiOx, så regioner med kvarvarande syre etsas helt enkelt inte öppna. Passiverande pinholes sållades naturligt bort av dessa metoder. Det är därför Fall 3 förblev osett så länge.

Mekanism: Två typer av pinholes (Figur 2)

Aberrationskorrigerad HAADF-STEM (JEM ARM200F plus Spectra 300, 200/300 kV) skannade poly-Si/SiOx/c-Si-gränssnittet på en högverkningsgradsskiva (25,40%) och en lågverkningsgradskontroll (24,07%).

Nyckelpunkten: pinholes på högverkningsgradsskivan är faktiskt mindre, och behåller syre bättre. Alla storlekar är en storleksordning mindre än vad tidigare litteratur rapporterade.

Fischer-punktkontaktmodellresultaten (Fig. 3d i original):

• Pinhole-areafraktion f = πr²/P², men J₀ är okänslig för f. Vad som verkligen dominerar är ytrekombinationshastigheten S vid pinhole.

• Runt f ≈ 0,1, när S ≳ 10³ cm/s, stiger J₀ brant, och den mättas ovanför S > 10⁵ cm/s.

• Betydelse: nyckeln till hög prestanda är inte "noll pinholes", utan "pinholes som är passiverade". Detta är den största höjdpunkten i hela artikeln.

När det gäller densitet är detta en liten revolution. Statistik från X-Y ortogonal skivning över 40 wafers (hög plus låg verkningsgrad) gav 2 × 10¹² cm⁻² för passiverande och 3 × 10¹² cm⁻² för rekombinationspinholes, 4 till 6 storleksordningar högre än litteraturvärden.

Tre orsaker samverkar: för det första ändrades konceptet, så tidigare bortsållade passiverande nanodefekter blev synliga; för det andra är proverna industriellt optimerade wafers över 25 %, inte teststrukturer; för det tredje är metoden atomär HAADF, och indirekta metoder kan helt enkelt inte se det sub-2 nm syrehaltiga området. För att skydda mot överlappning längs strålriktningen från 50 till 150 nm tjocka TEM-prover, backade författarna upp med 4D-STEM ptychografi längs tjockleksriktningen, vilket bekräftar att densitetsstatistiken inte förvrängs av projektionsöverlappning.

Processlandningspunkt: Tvåstegsoxidation plus bakpolering plus poly trippelkoppling

Variablerna från originalmetoderna plus SI (Supplementary Table 1):

• Tvåstegsoxidation: först O₂-oxidation till tunn SiO₂, sedan ett syrefattigt steg (inget syre tillförs). Den passiverande typen kräver längre syreflödestid, högre temperatur, större flöde och högre tryck, vilket gynnar enhetlig, tät oxid.

• POCl₃-diffusion: lägre depositionstemperatur plus kortare tid förbättrar polykristallisation och undertrycker rekombinationstyp pinholes.

• Bakpoleringsmorfologi ligger uppströms om oxidtjockleksuniformitet. Alla tre måste stämmas av tillsammans för att stabilt producera Case 3.

Prestandajämförelse (Fig. 4 Hårddata)

Symmetriska dubbelsidiga poly-Si/SiOx-prover (n-Si 1–3 Ω·cm, dubbelsidigt polerade):

• τeff: 8,9 ms hög verkningsgrad vs 2,96 ms kontroll (injektion 5×10¹⁵ cm⁻³)

• J₀: 2,6 vs 10,6 fA/cm²

• ΔVoc uppmätt till 15,9 mV, men J₀-skillnaden förklarar endast ~11 mV. De återstående ~5 mV tillskriver författarna förbättrad bulk SRH-livslängd. Den optimerade glödgningen, samtidigt som den skapar passiverande pinholes, gettrar också metallföroreningar (med hänvisning till Krügeners 25 % POLO-arbete). Att fixa både gränssnitt och bulk tillsammans är receptet för att korsa 25 %.

För FF kommer skillnaden främst från Rs:

• Rs: 357 (hög verkningsgrad) vs 619 mΩ·cm² (kontroll), Suns-Voc uppmätt

• ρc (TLM): 4,6 vs 5,4 mΩ·cm²

Den kontraintuitiva poängen: enligt logiken "tätare pinholes ger lägre ρc" borde fler passiverande pinholes på den högpresterande wafern innebära lägre ρc, och 4,6 < 5,4 stämmer. Men författarna lägger till en twist. Nära rekombinationstyp-pinholes diffunderar fosfor in i wafern, medan passiverande typer blockeras av syre (EDS-dopningsprofilen i Supplementary Fig. 10). Så dopningsprofil och kontaktresistans följer två separata logiker, och du kan inte förklara dem enbart med pinhole-densitet.

PL var enhetlig över hela wafern, och Corescan-kartläggning av Voc-fördelningen höll också för storskalig enhetlighet.

En rad för industrin

Denna artikel förvandlar TOPCon-gränssnittet från en binär berättelse om "intakt oxid vs pinhole-läckage" till en ternär: "pinholes kan också vara bra, så länge syre fortfarande finns där". Vad industrin behöver göra härnäst är inte att besatta sig över noll pinholes, utan att finjustera kedjan från bakpolering till oxidation till polyavsättning så att pinholes bär syre. Daheng's wafer vid 25,40 % på 333,3 cm² har redan bevisat att vägen fungerar.

Ooitechs syn

Vad som slår oss här är hur mycket av detta beror på processkedjan, inte bara celldesignen. Att den tvåstegs oxidationen, POCl₃-justeringen och bakpoleringen måste röra sig tillsammans är precis den typ av koppling som går förlorad när en linje monteras i delar. På modulsidan ser vi samma mönster, där laminerings- och stringtoleranser tyst avgör om en bra cell behåller sin Voc. Om du vill se närmare på hur dessa gränssnittskänsliga processer översätts till en verklig produktionsgolv, är våra fabriksgenomgångar på YouTube (www.youtube.com/ooitech) värda en prenumeration.