Introduktion

TOPCon har tagit över större delen av marknaden för högpresterande c-Si, men långsiktig fälttillförlitlighet är fortfarande ett rörligt mål. En svag punkt dyker upp gång på gång i studier av fuktig värme: den bakre passiveringsstacken. En nyligen genomförd studie (Tong et al., Sol. Energy Mater. Sol. Cells, DOI: 10.1016/j.solmat.2024.113188) fastställde vad som faktiskt går fel när natriumsalter landar på cellytan och utsätts för 85°C/85% RH. Kort version — det bakre SiNₓ-skiktet är den svaga punkten, och en tunn ALD AlOₓ-film åtgärdar det mesta.

Viktiga resultat i korthet

• Det bakre SiNₓ-skiktet är den svaga punkten vid fuktig värme. Natriumacetat (CH₃COONa) minskade den bakre öppenkretsspänningen (Voc) med 5,8% och ökade serieresistansen (Rₛ) med 450%.

• Natrium-salter påskyndar ytoxidation och kväveförlust. XPS visade att det bakre Si/N-atomförhållandet hoppade från 1,3 till 23, och O/N från 1,6 till 53.

• En 10nm ALD Al₂O₃-barriär gjorde stor skillnad — PCE-förlusten under CH₃COONa-kontaminering minskade från 16% till bara 0,4%.

• Frontpassiveringen är mycket tåligare. AlOₓ/SiOᵧNᵣ-multilagret blockerar natriumdiffusion, så kontaminering där kostade endast 0,87% PCE.

• De två föroreningarna verkar olika: natriumacetat angriper metallkontakten, medan natriumklorid (NaCl) främst oxiderar passiveringsskiktet.

Bakgrund

Kärnfrågan är enkel att ställa, svårare att besvara: varför förlorar TOPCon-celler prestanda under fuktig värme när natriumsalter finns närvarande, och varför drabbas den bakre passiveringen värre (Kyranaki et al., 2022)?

Var luckorna finns

Tidigare arbeten fokuserade mest på metallkontaktkorrosion (Iqbal et al., 2023), men ingen hade systematiskt undersökt den kemiska nedbrytningen av passiveringsskiktet i sig. Front- och bakre staplar är byggda olika — framsidan är AlOₓ/SiNₓ/SiOᵧNᵣ, baksidan är SiNₓ över dopad poly-Si — och deras korrosionsbeständighet hade aldrig direkt jämförts (Feldmann et al., 2014). Dessutom trodde man att de två vanliga föroreningarna (CH₃COONa vs. NaCl) betedde sig likadant, men det gör de inte (Li et al., 2021).

Att få detta rätt är viktigt för riktiga pengar. PV-anläggningar säljs med ett 25-årigt livslängdslöfte (Peters et al., 2021), och ett baksidefel som uppträder under fukt är precis den typen av sak som äter in på det.

Tillvägagångssätt

Arbetsflödet hölls nära en verklig produktionslinje: industriella TOPCon-celler → lokal spray av natriumsalt på fram- eller baksida → accelererad fuktig värme (85°C/85% RH) → elektrisk och kemisk karakterisering → testa en ALD AlOₓ-barriär → ta reda på skyddsmekanismen.

Vad som är nytt här

På teorisidan är detta den första studien som pekar på kväveförlust i det bakre SiNₓ-skiktet som den främsta drivkraften bakom Voc-fallet. På praktiksidan körs det 10 nm tjocka AlOₓ-skiktet på standard industriell ALD-utrustning och kostar bara cirka 0,01% i absolut verkningsgrad. Och metodologiskt byggde teamet ett cellnivå-DH-test där 20 timmar motsvarar flera års utomhusåldring (Sen et al., 2023).

Logikkedjan är lätt att följa: bakre förorening orsakar ett kraftigt Voc-fall, vilket direkt pekar på passiveringsfel. XPS bekräftar sedan SiNₓ-oxidationsreaktionen och den natriumdiffusionsväg den öppnar. Lägg till AlOₓ-skiktet, blockera natriumet, och PL-avbildning bekräftar att defekterna är undertryckta.

Metoder

Provberedning

Hur det mättes

• I-V-parametrar (Pmax, Voc, FF, Jsc) via LOANA-systemet (pv-tools).

• Passiveringskvalitet genom effektiv minoritetsbärarlivslängd (τ_eff).

• Ytkemi genom XPS och SEM-EDS.

Resultat och diskussion

Elektrisk nedbrytning

Baksidan är tydligt den känsliga. CH₃COONa på baksidan minskade Voc med 5,8 %, ökade Rₛ med 450 % (Tabell 1) och minskade PL-intensiteten med 37,3 % (Fig. 3a). Samma behandling på framsidan kostade endast 0,87 % PCE. Samma salt, mycket olika utfall beroende på vilken sida det träffar.

Kemisk nedbrytning av passiveringen

XPS på baksidan visade att Si-O-bindningsfraktionen sköt i höjden (Fig. 5b), med O/N-atomförhållandet från 1,6 i kontrollen till 53 i CH₃COONa-gruppen. Mekanismen är kväveförlust — fuktig värme hydrolyserar SiNₓ och förstör ytpassiveringen.

Vad AlOₓ-barriären gör

Med 10 nm ALD AlOₓ på plats minskade PCE-förlusten under bakre CH₃COONa-kontamination från 16 % till 0,4 %, och Voc förblev oförändrad (Fig. 6a). SEM-EDS visade natriumhalt minskad med 86 % i AlOₓ-proverna (Fig. 6c), och PL visade ingen defektaktivering (Fig. 6b). Barriären gör precis vad man vill — håller natriumet borta.

Slutsats

Huvudslutsatser

Det bakre SiNₓ-skiktet hydrolyserar och oxiderar under fuktig värme plus natriumsalt, vilket driver ner Voc och upp Rₛ (stöds av XPS/EDS, Fig. 4-5). Ett 10 nm AlOₓ-skikt blockerar natriumdiffusionen och håller DH85 PCE-förlust under 1 % (Fig. 6a). Och det främre AlOₓ/SiOᵧNᵣ-multilagret är i sig korrosionsbeständigt, så kontamination där knappt märks.

Varför det är användbart

AlOₓ-barriären kan direkt införas i TOPCon-massproduktion på verktyg som Leadmicro QL200. På längre sikt kan kombinationen av AlOₓ med SiNₓ i dubbelglas-modulkapsling förlänga anläggningars livslängd i fuktiga regioner.

Lite bakgrund

• TOPCon-struktur: ett tunneloxid (SiO₂) plus dopad poly-Si-passiverande kontakt, vilket minskar rekombination vid metallen (Feldmann et al., 2014).

• ALD: lager-för-lager nanotillväxt, vilket ger enhetlig nanometer-skala AlOₓ-täckning.

• DH-testning: 85°C/85% RF accelererad åldring för att efterlikna modulnedbrytning i fuktiga klimat.

• SiNₓ-passivering: vätehaltig kiselnitrid, bra för antireflex och ytpassivering, men den har hängande bindningar och hydrolyserar lätt.

Referenser

• Tong H. et al., Mitigating contaminant-induced degradation in TOPCon solar cells via ALD AlOₓ barrier, DOI: 10.1016/j.solmat.2024.113188

• Feldmann F. et al., Passivated rear contacts for high-efficiency n-type Si solar cells, Solar Energy Materials and Solar Cells 120 (2014) 270–274.

• Li X. et al., Accelerated damp-heat testing of TOPCon cells using NaCl, Solar Energy Materials and Solar Cells 262 (2023) 112554.

• Peters I.M. et al., The value of stability in photovoltaics, Joule 5 (2021) 3137–3153.

Ooitechs syn

Det som sticker ut här är hur mycket av tillförlitlighetshistorien ligger i den bakre passiveringsstacken, inte i celldesignens rubrik. På en verklig produktionslinje är ett extra 10nm ALD AlOₓ-steg en billig försäkring för fuktiga klimatprojekt, och det passar in i standardmodulproduktion utan större krångel. Vi bygger nyckelfärdiga modullinjer från början till slut, så vi följer sådana här resultat noggrant – små processjusteringar uppströms avgör ofta om en anläggning håller i 25 år. Om du vill ha mer från fabriksgolvet, Ooitech YouTube-kanal (www.youtube.com/ooitech) värd att följa.